文献类型:专著 浏览次数:15
  • 题名:3D集成手册.3D集成电路技术与应用
  • 责任者:(美) 菲利普·加罗, (美) 克里斯多夫·鲍尔, (德) 彼得·兰姆主编
  • 出版社中国宇航出版社
  • 出版年:2017.5
  • ISBN:978-7-5159-1300-1
  • 定价:198.00
  • 载体形态项:XXX, 714页 26cm
  • 个人责任者:加罗主编、鲍尔主编、拉姆主编、赵元富译、姚全斌译、白丁译
  • 学科主题:集成电路工艺
  • 中图法分类号:TN405-62
  • 提要文摘附注:本书对国内外、研究所和公司的不同3D集成技术进行了详细介绍,系统阐述了不同工艺的设计原理和制作流程。
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