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■ar |
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■a微机电系统（MEMS）工艺基础与应用■dMEMS technology foundation and applica+...... |
| 210 |
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■a哈尔滨■c哈尔滨工业大学出版社■d2016 |
| 215 |
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■a301页■c图■d23cm |
| 300 |
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■a “十二五”国家重点图书 |
| 320 |
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■a有书目 （第299-301页） |
| 330 |
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■a本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念和发展现状及趋势、力学相关知识；重点阐述ME+...... |
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1_ |
■aMEMS technology foundation and application■zeng |
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■a微电机■j教材■x高等学校■AWei Dian Ji |
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■aTM38■v5 |
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■a邱成军■f(1965-)■4编著■Aqiu cheng jun |
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■a曹姗姗■4编著■Acao shan shan |
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■a卜丹■4编著■Abu dan |
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■aCN■bGSXY■c20201012 |
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