| 000 |
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| 001 |
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| 005 |
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20220402135154.0 |
| 010 |
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■a978-7-121-40226-5■dCNY79.00 |
| 100 |
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■a20210105d2021 em y0chiy50 ea |
| 101 |
0_ |
■achi |
| 102 |
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■aCN■b110000 |
| 105 |
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■aak a 000yy |
| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a计算光刻与版图优化■f韦亚一 ... [等] 著■Aji suan guang ke yu ban tu you h+...... |
| 210 |
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■a北京■c电子工业出版社■d2021 |
| 215 |
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■ax, 238页■c图■d26cm |
| 225 |
2_ |
■a中国科学院大学研究生教学辅导书系列■Azhong guo ke xue yuan da xue yan jiu sh+...... |
| 225 |
2_ |
■a集成电路技术丛书■Aji cheng dian lu ji shu cong shu |
| 304 |
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■a题名页题: 韦亚一, 粟雅娟, 董立松, 张利斌, 陈睿等著 |
| 312 |
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■a英文并列题名取自封面 |
| 320 |
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■a有书目 |
| 410 |
_0 |
■12001 ■a中国科学院大学研究生教学辅导书系列 |
| 410 |
_0 |
■12001 ■a集成电路技术丛书 |
| 510 |
1_ |
■aComputational lithography and layout optimization■zeng |
| 606 |
0_ |
■a集成电路工艺■x电子束光刻■Aji cheng dian lu gong yi |
| 690 |
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■aTN405.98■v5 |
| 701 |
_0 |
■a韦亚一■4著■Awei ya yi |
| 701 |
_0 |
■a粟雅娟■4著■Asu ya juan |
| 701 |
_0 |
■a董立松■4著■Adong li song |
| 801 |
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■aCN■bGSXY■c20220402 |
| 905 |
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