文献类型:专著 浏览次数:15
  • 题名:三维芯片集成与封装技术
  • 责任者:(美) 刘汉诚著
  • 出版社机械工业出版社
  • 出版年:2023.03
  • ISBN:978-7-111-71973-1
  • 定价:189.00
  • 载体形态项:XV, 445页 24cm
  • 个人责任者:刘汉诚著、杨兵译
  • 学科主题:集成芯片
  • 中图法分类号:TN430.5
  • 提要文摘附注:本书系统地讨论了用于电子、光电子和MEMs器件的2.5D、3D, 以及3DIC集成和封装技术的最新进展和未来可能的演变趋势, 同时详尽地讨论了IC的3D集成和封装关键技术中存在的主要工艺问题和可能的解决方案。
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