文献类型:专著 浏览次数:7
  • 题名:薄膜物理与技术
  • 责任者:沈杰, 梅永丰等编著
  • 出版社化学工业出版社
  • 出版年:2024.5
  • ISBN:978-7-122-44676-3
  • 定价:66.00
  • 载体形态项:241页 26cm
  • 个人责任者:沈杰编著、梅永丰编著
  • 学科主题:薄膜
  • 中图法分类号:O484 O484
  • 提要文摘附注:本书主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识, 重点讲述了薄膜生长基础, 薄膜生长技术, 包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等, 并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。
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