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| 100 |
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■a20070419d2007 em y0chiy0121 ea |
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■achi |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a集成电路工艺中的化学品■f戴猷元, 张瑾编■Aji cheng dian lu gong yi zhong de h+...... |
| 210 |
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■a北京■c化学工业出版社■d2007 |
| 215 |
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■a188页■c图■d24cm |
| 320 |
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■a有书目 (第173-186页) |
| 330 |
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■a全书共7章, 内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械+...... |
| 606 |
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■a化工产品■x应用■x集成电路工艺■Ahua gong chan pin |
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■aTN405■v4 |
| 701 |
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■a张瑾■4编■Azhang jin |
| 701 |
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■a戴猷元■4编■Adai you yuan |
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■aGSXY■fTN405/D896■g0471061■g0471062■g0471063 |
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