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■a微电子化学技术基础■f刘玉岭, 李薇薇, 周建伟编■Awei dian zi hua xue ji shu ji c+...... |
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■a北京■c化学工业出版社■d2005 |
| 215 |
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■a[4], 401页■c图, 设计图■d26cm |
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■a高等学校教材 |
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■a本书介绍了超大规模集成电路相关的化学技术。全书共分11章，内容涉及硅材料及硅化合物化学性质、衬底加工、环境净化、净化+...... |
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■a微电子技术■x化学■AWei Dian Zi Ji Shu |
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■a周建伟■4编■Azhou jian wei |
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■a李薇薇■4编■Ali wei wei |
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