文献类型:专著 浏览次数:2
  • 题名:微光机电系统(MOEMS)
  • 责任者:张文栋, 熊继军编著
  • 出版社机械工业出版社
  • 出版年:2006
  • ISBN:7-111-19266-4
  • 定价:28.00
  • 载体形态项:309页 24cm
  • 个人责任者:张文栋编著、熊继军编著
  • 学科主题:微光技术
  • 中图法分类号:TH-39
  • 提要文摘附注:本书介绍了微光机电系统(Micro-Optical-Electro-Mechanical System,MOEMS)的国内外发展,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术。本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员、科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
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