文献类型:专著 浏览次数:2
  • 题名:微电子工艺基础
  • 责任者:李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著
  • 出版社化学工业出版社
  • 出版年:2007
  • ISBN:7-5025-9520-3
  • 定价:29.80
  • 载体形态项:257页 26cm
  • 个人责任者:刘玉岭编著、王胜利编著、李薇薇编著
  • 学科主题:微电子技术
  • 中图法分类号:TN405
  • 提要文摘附注:本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关的物理、化学知识,后部分介绍了工艺过程,工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法.本书可作为高等院校相关专业的教材,也可作为教室和研究生的参考用书,同时也能供广大从事微电子相关领域的工程技术人员参考。
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