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课程：MEMS系统与应用 教师：由永慧 院系：信息工程学院 参考书总数：1
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1 微机电系统（MEMS）工艺基础与应用 邱成军，曹姗姗，卜丹编著 哈尔滨工业大学出版社 2016 TM38/Q221
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